国内唯一のナノバブル専門の研究機関
当社ナノバブル研究所は、国内で唯一ナノバブル専門の研究機関として、産学公民による未来創造拠点「新川崎・創造のもり」の中にあるNANOBIC（ナノビック）に入居しております。
NANOBICは、ナノ・マイクロテクノロジーに関する基礎研究を産業化に繋げ、我が国経済を牽引するような大きな研究成果を生み出すことを目指しており、NANOBICオープンラボとして、保有する最先端のナノ・マイクロ機器などを入居企業や一般企業に開放しております。
当社が保有する計測機器と、NANOBIC保有の最先端機器によって、日々ナノバブルの活用に関する研究に取り組める環境が整っています。
NANOBIC保有装置
ナノ・マイクロサイズのデバイスは、成膜→パターニング（露光・フォトリソグラフィ）→エッチング→評価・計測という流れで作製されます。NANOBICには、それぞれの作業に必要な約35台以上の各種装置が導入されています。同じ作業分野でも装置によって機能が異なり、NANOBICでは、さまざまな技術開発に対応できる研究機器を整備しています。
装置一覧
成膜工程
- 1.４元マグネトロンサイドスパッタ装置
- → 薄膜加工の基本機能を備えたスパッタリング装置金属、絶縁体など様々なターゲットでの成膜が可能
- 2.ECRイオンビームスパッタ成膜装置
- → 緻密で良質な薄膜形成とエッチングが可能な複合機です。
- 3.クラスタ型コータ・デベロッパ
- → 先端研究の期待に応える高精度なレジスト塗布・現像可能です。
パターニング工程
- 1.レーザー直接描画装置
- → 汎用性と柔軟性に優れた最小1umサイズを描画できるマスクレスレーザーリソグラフィ装置
- 2.超高精度電子ビーム描画装置
- → 最小回路線幅８nmサイズでの直接描画を実現
- 3.ナノインプリント装置
- → ナノサイズの金型転写による自在なデバイス加工
エッチング工程
- 1.高密度プラズマドライエッチング装置
- → ガラスなどに高速かつ精密な深掘り（孔・溝）加工
- 2.シリコンドライエッチング装置
- → 高速かつ高精細、多様な形状の深掘り加工
評価・計測工程
- 1.超低真空走査電子顕微鏡
- → 高速かつ高精細、多様な形状の深掘り加工
ナノバブル研究所保有装置一覧
ナノ粒子解析システム
NanoSight（ナノサイト）NS500
NanoSight（ナノサイト）NS500
原子間力顕微鏡 Dimension Icon
